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超高精度矿物抛磨系统
山东大学
Moore NanotechnologySystemsLLC，Nanotech 350FGX轴行程350mm
山东省
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检测范围

可用于超高精度平面、球面、自由曲面、微结构光学零件的加工；用于完成大矢高的光学镜片以及光学阵列的高精度加工

仪器参数

X轴350mm,Y轴行程350mm,Z轴行程150mm;超高精主轴的跳动等于12.5纳米；主轴转速50-10000转/分；用于磨削的气动磨头6000rmm
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