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电子束蒸发镀膜系统
山东大学
HHV Company Pvt. Ltd.，HHV autoAuto 500
山东省
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检测范围

电子书蒸发系统，以金属电极蒸镀为主要应用。使用较高功率电子枪对难熔金属进行蒸发，在较大腔体内实现LIFTOFF等半导体操作

仪器参数

真空优于5*10-7Torr；电子枪率不低于6KW，支持多层膜连续沉积工艺
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