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电子束曝光系统
山东大学
Raith GmbH，e_Line plus4 inch holder
山东省
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检测范围

用于光电材料科学

仪器参数

电子枪：肖特基热场发射电子束源；加速电压从100V到30KV；样品尺寸最大4inch;最小加工线宽10nm；最小电子书直径2nm;图形发生器速度20MHz，放大倍数20X-1000000X；套刻精度在100微米内小雨40 nm
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