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三室多功能磁控仪
山东大学
沈阳科友，BMS660B380V-50HZ
山东省
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检测范围

正常溅射制备各种金属、非金属、磁性薄膜。

仪器参数

极限真空：5*10-6Pa，系统漏率：1*10-6Pa.L/s;衬底温控：室温-600℃；气流控制：水冷、加热各一个；步进电机：2万步/周；薄膜均匀性：直径50范围内±5%
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