检测范围
功能：薄膜生长
应用范围：物理科学或材料科学(金属薄膜生长)。
仪器参数
1）Process chamber工艺腔体
16"x16"方形不锈钢腔体，包括胶圈密封，铰链连接，带有矩形观察窗的铝制前门。
2）Pumping system泵抽系统
260 l/s分子泵；6.8 cfm的油封机械泵和前级阀门；气动充气阀；适当环境下，极限真空可达到5 x 10-7 Torr或更低。
3）vacuum gauging真空测量系统
全量程真空计，测量范围为大气至10-10 Torr（复合了电离真空计和皮拉尼计）。
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