X射线光电子能谱仪(XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy))
南京理工大学
日本ULVAC-PHI,IVC,PHI5000VERSA PROBE II
江苏省
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所有仪器

分析仪器

检测范围

大面积XPS,小面积XPS,成像XPS,浑度剖析XPS,角分辨XPS,VPS

仪器参数

单色化Al靶,大面积XPS,Ag3d5/z,FwHμ≤1.0eV,灵敏度≥1μcps,小面积20μm,FwHμ≤0.6eV,灵敏度≥15kcps,空间分辨率≤10μm

仪器特色&服务特色

光学实验
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