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激光共聚焦显微镜
华侨大学
德国卡尔蔡司公司，LSM700
福建省
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明场、高级暗场、偏光；Z方向高度测量：步进精度10nm；宽度测量可重复性（3δ）：0.01μm；高度测量可重复性（1δ）：0.02μm砂轮尺寸：D≤500mm，B≤80mm

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