检测范围
该设备可以以光学非接触方式或探针接触模式测量表面的表面粗糙度，垂直分辨率0.001 nm，RMS重复精度达到0.02 nm，样品采样反射率宽，包含1%到100％。数据后处理方便，并可计算磨损量和体积。
仪器参数
1、计算机软件控制样品台移动。
2、带有Phase-Shift 和vertical scan 功能
3、最大Z 轴扫描范围：20mm 。
4、垂直分辨率：0。001 nm ( phase-shift mode)
5、RMS Repeatability: (RMS 重复精度)：0.02 nm
6、采样反射率：1%到100％。
7、自动聚焦和自动滤波。
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