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半导体特性测量系统
北京理工大学
美国KEITHELY公司，4200
北京市
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测量/计量仪器

检测范围

I-V； 脉冲I-V；C-V参数测量 各种半导体电学及光电器件测试

仪器参数

电流源设定最小分辨率1.5fA；
电压测量范围1μV-200V；
电流测量范围0.1fA-100mA（可选1A）；
电流测量最小分辨率0.1fA
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