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原子力显微镜
合肥工业大学
布鲁克公司，ICon
安徽省
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检测范围

表面观察、尺寸测定、表面粗糙测定、颗粒度解析、凸起与凹坑的统计处理、定向薄膜的摩擦处理过程的评价、缺陷分析等。

仪器参数

X-Y方向扫描范围：90um *90um典型值，最小85um Z方向扫描范围：10um典型值，在成像及力曲线模式下；最小9.5um 垂直方向噪音基底：
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