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场发射扫描电子显微镜
武汉理工大学
日本电子株式会社，JSM-7100F
湖北省
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热场发射扫描电镜可以实现样品的形貌观察和分析及进行微区的成分分析。其具有先进的电子光学性能，可以从几倍到几十万倍的快速观察分析，并具有强大的图像处理分析功能。

仪器参数

1、分辨率：二次电子图像为1.2nm (30kV)，3.0nm (1kV)
2、放大倍率：10X – 1,000,000X
3、真空度：电子枪室高真空达到10-7Pa；样品室真空达到10-4Pa
4、束流在1pA～200nA 连续改变
5、配备X射线能谱分析仪(EDS)
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