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形貌测量仪
北京理工大学
FISBA公司，FS50
北京市
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镜片研磨机

检测范围

该设备为曼格林相移式数字波面干涉仪，体积小，重量轻，模块化的设计理念，客户可以根据自身的需求自由搭配检测光路，既可用于生产车间，又可用于实验室科研，还可用于在线检测。独立稳频氦氖激光器，带独立激光耦合器，光强可调，热源与干涉仪分开，激光由光纤传导给干涉仪

仪器参数

测量范围：小于等于100 mm
干涉仪传感器分辨率： 1020×1024 像素
测量结果：
PV重复精度：1/1000λ
RMS 重复精度：1/3000λ
测量精度：1/20λ（校准面的精度1/20λ）
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