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少子寿命测试仪(Minority carrier lifetime meter)
中山大学
施美乐博半导体物理实，Semilab WT-2000PV
广东省
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检测范围

测量半导体材料的少数载流子寿命

仪器参数

最大测试硅片直径210mm，最大测试晶锭尺寸可达270L*156W*156Hmm，寿命测试范围：0.1us-30ms，测试分辨率：0.1%，样品电阻率范围：0.1-1000ΩCM，测试光点直径：1mm，测试速度：30ms/数据点，最大测试点数超过360000，激光源波长：904nm，方块电阻测试精度
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