检测范围
/用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器
仪器参数
*波长范围：190-2200nm，厚度重复性：500? SiO2 / Si: +/- 0.08? 1 sigma，厚度精度：+/-5? on 2000? NIST oxide on Silicon，光学常数重复性：500? SiO2 / Si: +/- 0.001 for index 1 sigma，光学常数精度：+/- 0.005
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