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线切割机
华侨大学
中国电子科技集团公司第四十五研究所，JXQ-1201
福建省
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仪器参数

晶棒最大尺寸Φ300mm，L=330mm；片厚设定范围0.2-40mm；片厚设定分辨率0.001mm；切割线最大线速度1000m/min；张力范围5-35N，波动#177;1N；送料进给步距偏差#177;0.005mm（1mm当量进给）；工作台进给速度0.001-0.2mm/s；工作台旋转角度360#176;（误差10′）

仪器特色&服务特色

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