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氦质谱检漏系统
北京理工大学
德国莱宝，L300
北京市
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检测范围

/该设备能够自动对检查元器件是否有漏的实验过程进行搜集、报警，对实验过程中的真空度、漏率等进行显示，具有远程控制和防突然暴露大气、反复暴露大气等故障功能，且不会造成被检件损坏。

仪器参数

最小可检氦漏率（真空模式）：≤5×10-12毫巴×升/秒，最小可检氦漏率（吸入器模式）：≤1×10-7毫巴×升/秒，最大可检氦漏率（真空模式）：＞1×10-1毫巴×升/秒，最大允许入口压强：15毫巴
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