超高精度三维轮廓仪(MicroXAM interferometric surface profiler)
中国矿业大学(徐州)
美国ADE公司,MiaoXAM 2.5X-50X
江苏省
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检测范围

1、微观三维形貌测试;2、摩擦磨损表面形态研究;3、厚度测试

仪器参数

Z轴方向精确度达到0.1nm
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