六轴平台
北京理工大学
PI,M-850
北京市
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检测范围

/具有具有6自由度高精度位姿调整功能

仪器参数

行程:X Y±50mm,Z±25mm,θxθy±15o,θz±30o;
重复定位精度:XY±2μm,Z±1μm,θxθyθz±10μrad;
承载:垂直200Kg,任意方向50Kg
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