检测范围
XPS作为一种表面分析仪器，可以对固体材料的表面（2～10nm深度）进行元素成分和价态的定性和定量分析（氢、氦除外），与成像功能和离子溅射刻蚀相结合，也可以用于固体表面元素成分及价态的二维面分析和深度剖析，在纳米材料、高分子材料、材料的腐蚀与防护、各类功能薄膜的
仪器参数
单色Al Ka大面积XPS：能量分辨率 （eV） 灵敏度(CPS) ？0.5 400000 ？ 0.6 1000000 ？1.0 2500000 最佳空间分辨率优于20 um。成像XPS空间分辨率优于3 um。 UPS: 分辨率优于100 meV 时，灵敏度不低于106 CPS
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