检测范围
材料微区形貌分析，及对应微区元素成分定性、定量分析，可以进行固体,粉末,薄膜,液体样品及不规则样品的无标样定性定量分析;主要用于金属,无机非金属等材料中化学元素的成分分析,元素范围从5B-U92
仪器参数
1. 电子光学系统
二次电子像分辨率：5nm
背散射电子像分辨率：20nm（拓扑像、成分像）, 成分分辨足以清晰分辨α / β黄铜
电子枪：LaB6发射枪，预对中灯丝
加速电压： 0 ～ 30kV
束流范围：10-5 ～ 10-12A
图像放大倍数：×40～×300,000，连续可调；
2. 波谱系统
分析元素：5B - 92U
分析精度：好于1%(主元素, 含量＞5%)和5%(次要元素, 含量～1%)
分析速度：自动全元素定性分析时间≤60秒，可以自动识别0.1 wt%以上的元素
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