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MOCVD-有机源气相外延薄膜生长设备
湖南大学
中科院沈阳科仪中心，DZS-500
湖南省
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检测范围

磁控溅射镀膜；电子束蒸发沉积电极对

仪器参数

主要用于纳米级的单层及多层功能膜-各种硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等的研究开发。可控厚度制备金属氧化物薄膜（小于200 nm），沉积微电极对

仪器特色&服务特色

Appl. Phys. Lett. 2009, 95, 152114
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