检测范围
光电子能谱是研究材料表面和界面电子及原子结构的最重要手段之一，可提供物质表面几个原子层的元素定性、定量信息和化学状态信息；可对非均相覆盖层（如薄膜）进行深度分布分析，了解元素随深度分布的情况；可对元素及其化学态进行成像，给出不同化学态的不同元素在表面的分
仪器参数
能量扫描范围：1-1100 eV 最佳能量分辨率：≤0.45 eV (XPS)、100 meV (UPS)
最佳空间分辨率：≤3 μm (X射线光电子成像) 最佳灵敏度：1,000,000 cps (Mono XPS, Ag标样3d5/2峰)
分析室最佳真空度：优于2×10-10 mbar快速进样室最佳真空度：7×10-9 mbar
分析室工作时的真空度：～2×10-9 mbar（打开X射线源的情况下）
仪器特色&服务特色
光电子能谱的应用涵盖了物理、化学、材料、医疗、地质、环境、微电子等学科，主要应用成果包括：在大气环境检测中，利用X射线光电子能谱（XPS）分析了沉积在广州周边不同地区不同季节的粉尘颗粒沉积物表面的气态物种的主要元素组成及化学态分析；对多层膜的成份、厚度、界面扩散情况进行分析，为膜层的制备及多层膜结构的改善提供思路；对集成电路板等进行失效分析，找到电路板的失效原因；对催化反应前后的催化剂进行元素价态分析等。
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