检测范围
一台高性能扫描电镜,带电子束减速功能,最高放大倍率可达80万倍,特别适合用于表征材料在纳米尺度上的表观形貌;同时该设备还配备了丰富的附件,包括Horiba250能谱,背散射电子检测器,可用于表征材料的元素组成,分布等
仪器参数
1,二次电子成像分辨率:1.0nm(15kv);2.0nm(1kv);2,YAG背散射电子成像分辨率:3.0nm(15kv);3,电子枪:冷场发射电子枪;4,加速电压:0.5～30kv(0.1kv/步可变);5,放大倍数:×30～×800,000;6,物镜光栏:4孔光栏,真空外选择和调整(内置加热器);7,检测器:二次电子检测器(高位/低位/高位＋低位);用电子束监视器进行噪音补偿;YAG型背散射电子(BSE)检测器;EDX检测器;8,样品台移动:X=0～50mm;Y=0～50mm
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