检测范围
轮廓膜厚分析仪是专门为薄膜高级表征的设备，主要用于测试： 1、薄膜、涂层厚度测量； 2、台阶高度测量； 3、表面粗糙度测量； 4、二维薄膜应力测量； 5、平坦度、波纹度、曲率测量； 6、表面轮廓（缺陷、形貌等）测量。
仪器参数
1）测量模式：接触式测量；
2)纵向加载力范围：0.1-100mg；
3) 最大扫描长度: 150 mm (不能拼接,一次就能扫完)，横向分辨率：0.1 ？m；4) 最大纵向量程：？300 ？m，纵向位移分辨率：0.1nm；
5)最大样品高度：？30mm；6)系统具有超平坦化玻璃参考面滑行运动模式样品台；7) XY 运动台 闭环控制,精度高 ,误差
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