检测范围
主要功能及特色（应用范围）: 主要功能为：检测材料的特性，包括材料的折射率，薄膜的计算分析，拟合出薄膜的膜系结构等；再者可以用于偏振全息实验分析，利用光谱分析仪对偏振光检测的特点。 特色是软件效率高，人机交互友好，控制精度高。
仪器参数
主要规格及技术指标: 两个机械臂测试时自动变角范围可达20度—90度； 测量提供的输入光的光谱范围为：193nm—3200nm。 聚焦在待检测材料上的光斑直径可以接近200微米。手动样品移动台可以在X和Y方向上移动，移动范围是45mm。单色仪结构：双腔结构，三光栅Czerny-Turner设计。狭缝精度5微米，波长准确性优于0.5nm。固定起偏器类型格兰-泰勒型，消光比在全波长范围内优于5X10-6。自动相位延迟。
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