3D测量激光显微镜-测试100仪器共享平台

3D测量激光显微镜
所在单位：	北京理工大学
品牌/型号：	日本奥林巴斯，OLS4000
所在地区：	北京市
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具有高分辨率；类似彩色SEM，可测各种样品；可实现粗糙度仪非接触式测量，可用于软质工件测量，光束波长小于表面粗糙度测量直径

1）具有明场、偏光及微分干涉相衬白光观察，2）双激光共聚焦光路观察、激光微分干涉相衬观察；3）测量分辨率X/Y平面分辨率不低于0.12um，Z轴的显示分辨率不低于1nm；4）白光图像采用200万像素、1/1.8英寸彩色CCD采集；5）激光图像采用光电倍增管采集。

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