检测范围
1.材料金相组织观察；2.材料粗糙度测量；3.粒子分析；4.膜厚测量
仪器参数
1.具有普通白光和激光共聚焦两种观察模式半导体激光器波长408nm，使用寿命大于3000小时；2.X/Y方向图像分辨率不低于0.12um，重复精度（3δ）小于等于0.02um；3.Z方向显示分辨率不低于10nm，重复精度（δ）小于等于0.013um；4.物镜：X5，X10，X20，X50 ,X100，五个平场复消色差物镜，以及一个X100超长工作距离物镜；5.专用数据及图像处理器。
仪器特色&服务特色
每年服务科研项目30余项，支持研究生培养实验及毕业设计10余项，并发表论文20余篇
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