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超高真空磁控与离子束系统
所在单位：	山东大学
品牌/型号：	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司，FJL520FJL520
所在地区：	山东省
仪器说明：	我们目前尚未与山东大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

所有仪器

主要应用于磁控溅射室及离子束溅射室的方法制备薄膜。适用范围：靶材可以用金属或陶瓷材料，几篇可用玻璃灯无机材料。实现基片上的镀膜。

系统极限真空：磁控溅射室：达6.6*10＾-5Pa 离子束溅射室：达6.6*10＾-5Pa 系统抽速：磁控溅射室：达6.6*10＾-4Pa 离子束溅射室：达6.6*10＾-4Pa 系统漏率：磁控溅射室：≤1Pa 离子束溅射室：≤1Pa 样品加热温度：室温～500℃

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