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3D光学轮廓仪
华侨大学
美国翟柯公司，NV7300
福建省
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纵向扫描范围：150μm，最大20mm纵向分辨率：≤0.1nmRMS重复性：0.01nm，RMSδ台阶测量：准确度≤0.75%；重复性≤0.1%@1

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