溅射-刻蚀一体机-测试100仪器共享平台

溅射-刻蚀一体机
所在单位：	北京理工大学
品牌/型号：	北京金胜微纳科技有限公司，JR-2B
所在地区：	北京市
仪器说明：	我们目前尚未与北京理工大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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/主要功能及特色（应用范围）: 溅射金属膜，等离子刻蚀；本设备配有下游恒压控制系统，提高工艺稳定性。自动系统采用工控机控制、液晶显示触摸屏操作，实现真空系统级工艺过程自动化。

*主要规格及技术指标: 极限真空：6.6×10-5Pa 环境湿度≦55%
溅射均匀性≦±4% 刻蚀均匀性≦±5%

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