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X射线光电子能谱仪
浙江大学
赛默飞世尔，Escalab 250Xi 最高能量分辨率0.45eV, 最佳空间分辨率3微米
浙江省
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检测范围

固体样品的元素成分定性、定量及半定量及价态分析；样品表面的组成、化学状态分析及深度剖析。

仪器参数

能量分辨率优于0.5eV/(Ag 3d5/2）， 0.8eV/(C 1s) 微区分析面积≤20微米，区域分辨率可达0.45eV，成像空间分辨率≤3μm 使用离子刻蚀可以对样品进行元素深度分布分析 可对样品表面元素和价态分布进行成像分析 具有先进的电荷中和技术，可同时使用电子和离子束对样品进行有效的电荷中和 拥有先进软件可结合数据库进行定量分析
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