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场发射扫描电子显微镜
浙江大学
日立，SU-70 30KV/0.8nm/-5~70deg
浙江省
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检测范围

该设备具有高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。配备X射线能谱仪，能对样品表层的微区点线面元素进行定性及半定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。与一般扫描电镜相比，它能以更高的分辨率观察固体样品表面显微结构和形貌，

仪器参数

1、分辨率：≤0.8 nm;；2、放大倍率：≥80万倍；3、加速电压：0.2-30KV；4、检测器：具有检测SE和BSE信号功能 5、可选配STEM，EDX等附件
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