场发射扫描电子显微镜
浙江大学
日本日立公司,S-4800 冷场发射扫描电镜/能谱
浙江省
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分析仪器

检测范围

该仪器具有超高分辨率,能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。配备高性能X射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。与一般扫描电镜相比,它能以更高的分辨率观察固体样品表面

仪器参数

电子枪:冷阴极场发射电子源;分辨率: 1.0 nm/15kv,1.4 nm/ 1kv;加速电压:0.2~30kV, 放大倍数:25-800,000倍连续可调
X射线能谱仪: 分辨率:133eV; 分析范围:B元素-U元素
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