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三维形貌仪(Talysurf CLI 2000)
大连理工大学
TALOR HOBSON Ltd，Talysurf CLI2000
辽宁省
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检测范围

适用于检测各种测量零件表面的直线度，平面度，表面粗糙度，表面波纹度，三维形貌，膜层厚度，台阶高度，等

仪器参数

XYZ测量范围200×200×200 mm；XY轴分辨率0.5μm；承载20 Kg；测量速度30,15,10,5,1,0.5 mm/sce；XY轴直线度±0.4μ
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