蒸气蒸空弧离子注入机(Metal vapor vacuum arc ion implantor)
大连理工大学
美国IBM公司,MEVVA IV80-10
辽宁省
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检测范围

用于材料表面改性

仪器参数

加速电压20-80KV,最大束流10Ma, 束斑直径140mm,脉冲频率1-20Hz
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