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平面度测量仪(FlatMaster200Metrology Instrument)
大连理工大学
Corning Tropel，FlatMaster200
辽宁省
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检测范围

可以非接触测量各种材料零件表面的平面度、波纹度、直线度，如硅晶片、玻璃基板、反射镜、金属、抛光复合材料零件等

仪器参数

最大测量直径200
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