表面轮廓仪(ZYGO NEW VIEW 5022 WITH IMAGE ZOOM(0.4X TO 2X))
大连理工大学
ZYGO公司,NV5000 5022S
辽宁省
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检测范围

适用于检测各种材料,各种加工零件的表面粗糙度,表面波纹度,三维形貌,镀膜层厚度,台阶高度,微观形貌几何尺寸,等

仪器参数

高性能,运用低噪声,线性电容传感器的闭环压电基座扫描转换器(150微米)非隔行高分辨率CCD照像机,垂直分辨率0.1纳米,步场精度0.75%
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