激光干涉仪(ML10 laser system)
大连理工大学
香港雷尼绍公司,ML10
辽宁省
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检测范围

适用于检测数控设备移动导轨的定位精度,重复定位精度,直线度,平行度,垂直度,偏摆角,仰俯角,工作台的回转精度,等等

仪器参数

激光头组件:频率稳定性±0.05ppm,工作温度:0-40℃,线性测量:测量长度0-40米,测量精度±0.7ppm,分辨率0.001μm,测量速度1m/s
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