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双束电子显微镜(Focused ion beam system)
武汉大学
FEI公司，Versa 3D
湖北省
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检测范围

versa 3D是集成聚焦离子束和聚焦Ga离子束的双束系统，器件最小的制备线宽可以达到20nm。可以沉积Pt，C两种材料，配有omniprobe探针，可以实现TEM样品的制备。

仪器参数

器件最小制备线宽可达到20 nm
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