键合机(bonding machine)
武汉大学
苏州美图半导体有限公司,TWB-100A
湖北省
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仪器参数

键合圆片的直径为4英寸
最大压力为30kN
压力均匀性不超过5%
温度范围 可升至400摄氏度
极限真空小于0.001pa
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