复合离子注入机-测试100仪器共享平台

复合离子注入机(Ion implanter)
所在单位：	武汉大学
品牌/型号：	成都同创材料表面新技术工程中心，无
所在地区：	湖北省
仪器说明：	我们目前尚未与武汉大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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用金属离子源和气体离子源独立或同时进行样品的离子注入

a) 一个MEVVA型高能金属离子源；一个高能kaufman气体离子源。
b) 离子源能量连续可调，气体源注入电压可达10-100 KV，金属源可达10-100 KV，离子源束流可调，最低50μA/cm2，束流最大5mA，束斑100 mm。

1. 获2012年度湖北省自然科学一等奖；2.发表学术论文20余篇。

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