离子注入机(Ion implanter)
武汉大学
中国北京中科信电子装备有限公司(北京),LC22-100-01
湖北省
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检测范围

用金属离子源或气体离子源独立进行样品的离子注入

仪器参数

样品100mm,能量200Kv,束流气体最小1200金属80微安,温度600度,辐射剂量小于0.25mr/h
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