真空热蒸发系统
中山大学
矽碁科技股份有限公司,SKE102013/热蒸发腔热板最高温度1600℃
广东省
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检测范围

高熔点金属薄膜及纳米材料蒸发沉积

仪器参数

从大气压抽至8x10-6Torr的时间小于60分钟;样品台最高温度达到1300℃;
热板最高温度达到1600℃
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