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电感耦合等离子体化学气相沉积系
中山大学
英国牛津仪器等离子技术公司，ICP180-CVD/PlasmaPro System 100ICP180-CVD
广东省
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测量/计量仪器

检测范围

沉积二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅材料

仪器参数

配备ICP射频电源，最大可支持8英寸衬底；可沉积材料：二氧化硅，氮化硅，氮氧化硅

仪器特色&服务特色

国家重点基础研究发展计划（973计划）项目“基于光子轨道角动量（OAM）的新型通信体制研究”，国家重点基础研究发展计划（973计划）项目“微波与光波大功率超宽带高效转换器件研究”
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