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快速退火炉
中山大学
ANNE ALSYS，AS-One 100/3x400V+Ground+Neutral
广东省
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测量/计量仪器

检测范围

对样品进行快速升温和快速降温热处理

仪器参数

最大样品尺寸：4英寸；最高温度：1250℃；最快升温速率：200℃/S；气体氛围：H2/PN2/Ar；

仪器特色&服务特色

国家重点基础研究发展计划（973计划）项目“基于光子轨道角动量（OAM）的新型通信体制研究”，国家重点基础研究发展计划（973计划）项目“微波与光波大功率超宽带高效转换器件研究”
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