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超高真空纳米探针台测试系统
中山大学
Omicron NanoTechnology GmbH，UHV Nanoprobe/真空度优于3.0×10”-10mbar
广东省
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真空室工作真空度优于3.0E-10 mbar，原子分辨像，表面原子台阶像。

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支撑项目:新型纳米冷阴极平板X射线源和高灵敏度探测器件及其CT图像重建方法研究等多项项目
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