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有机物及金属沉积系统
中山大学
FERMI INSTRUMENTS Co.,LTD，OM-1/金属蒸发系统最高温度>1500℃
广东省
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金属MBE系统-真空指标 1.0E-9 mbar;有机MBE系统-真空指标 1.0E-7 mbar

仪器特色&服务特色

支撑项目:新型纳米冷阴极平板X射线源和高灵敏度探测器件及其CT图像重建方法研究等多项项目
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