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PECVD特气输送和尾气处理系统
中山大学
上海兄弟微电子技术有限公司，定制/120PSI保压24小时
广东省
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检测范围

该特气输送和尾气处理系统作为四室等离子增强化学气相沉积（PECVD）设备的外围配套设施，用来给PECVD设备供应8种高纯工艺气体（分别是SiH4、TMB、PH3、CH4、H2、NH3、CO2和N2）和处理工艺废气，具有高纯特气存储和输送、尾气处理、危险气体泄漏侦测和报警功能、危险气体远程

仪器参数

在120PSI保压24小时测试合格；氦检漏测试不高于1*10-9atm.cc/sec测试合格；侦测系统模拟测试全部测试正常
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