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场发射扫描电子显微镜(field emission scanning electron microscope)
中山大学
ZEISS公司，SUPRA 60/分辨率:0.8nm@15kV,1.6nm@1kV
广东省
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检测范围

样品表面表征

仪器参数

分辨率：0.8nm@15kV，1.6nm@1kV；加速电压范围：20V~30kV连续可调；放大倍数范围：12X~1000000X连续可调；电流稳定度：0.07%/h
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