扫描电子显微镜(Scanning electron microscope)
武汉大学
日立公司,S34OON
湖北省
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检测范围

通过二次电子信号来观察样品的表面形态

仪器参数

SE分辨率:3.0nm(30KV),高真空模式,10nm(3KV),低真空模式,放大倍率:*5-*300,000,加速电压:0.3-30KV
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